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离子束蚀刻结构特征 - 供气系统

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-08-02 16:51:49 * 浏览: 31
供气系统分为两个系统:氩气(工作气体)和氧气(辅助气体)。在氩气中混合一定比例的氧可以防止一些晶体(例如铌酸锂)在表面缺陷并导致性能变化。 LSK-3离子束蚀刻机的供气系统分为两种方式:手动控制和自控。手动控制系统包括流量微调真空阀(WT30-1型),两个GM-10真空隔膜阀,一个8L气体储罐,一个2.5kg / cmsup2,真空压力表和管道。除手动组件外,自动控制系统还配有D07-2 / ZM质量流量控制器。气流由工作压力间接指示。